[发明专利]一种工件台定位接口工装有效

专利信息
申请号: 201910080227.4 申请日: 2019-01-28
公开(公告)号: CN111487846B 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 丛国栋;郑文宇 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种工件台定位接口工装,属于工业设备之间连接的辅助设备技术领域。该工件台定位接口工装包括用于与第一整机连接的基座、用于与第二整机连接的接口定位件、以及用于连接基座和接口定位件的连接组件,其中接口定位件设置有接口定位孔,基座设置有凸起,连接组件包括凹槽,以与凸起紧密配合。通过在基座中设置凸起,连接组件中设置与凸起配合的凹槽,凸起被凹槽两侧的侧壁限制,形成几何封闭,使得连接组件与基座两者之间无论是受到外界冲击后还是使用时间较长均不会发生横向错动;当基座与第一整机连接后,能保证第一整机和第二整机的稳固连接。
搜索关键词: 一种 工件 定位 接口 工装
【主权项】:
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