[发明专利]监测系统在审
| 申请号： | 201910086968.3 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN111487932A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 陈海祥;王广军;翟晓烨;董辉 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种监测系统，用于监测MOCVD系统中各个设备的工作，该监测系统包括：第一监测子系统，包括主参数控制模块和从参数控制模块，从参数控制模块设置在第一设备中，从参数控制模块用于对第一设备进行监测且将监测的结果发送至主参数控制模块；第二监测子系统，包括主站和从站，从站设置在第二设备中，至少一个从站用于对第二设备监测并将监测的结果发送至主站，主参数控制模块还用于将获取的监测结果发送至主站，主站还用于根据监测的结果确定第一设备以及第二设备的运行状态，第一监测子系统和第二监测子系统具有不同的协议。该监测系统解决了现有技术中的监测系统难以确定第一设备等的运行状态的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 系统 | ||
【主权项】：
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