[发明专利]一种光刻版清洗剂及其使用方法在审
| 申请号： | 201910087372.5 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN111484908A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 胡夕伦;吴向龙;闫宝华;肖成峰 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/60 | 分类号： | C11D7/60;C11D7/08;C11D7/10;C11D11/00;B08B3/08;B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 陈桂玲 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻板的清洗领域，具体涉及一种光刻版清洗剂及其使用方法，本发明提供一种光刻版清洗剂包括强氧化剂、强酸和水，同时提供一种光刻版清洗剂的使用方法，包括如下步骤：(1)对所述光刻版清洗剂搅拌后静置；(2)将光刻版放入清洗剂中进行清洗；(3)冲洗光刻板；(4)刷洗光刻版；(5)再次冲洗并烘干光刻板。本发明提供的光刻版清洗剂以及使用方法，成本低，无需加热，方法简便，清洗效率高。该清洗剂可有效去除光刻版表面顽固性有机污染物和附着的微小无机颗粒物。本发明提供的清洗剂清洗光刻版后，光刻板表面洁净、平整，保证产品光刻质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 洗剂 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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