[发明专利]显影液浓度测量装置及方法在审
| 申请号： | 201910087728.5 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN109632571A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 蔡在秉;李彦泽;陈仲仁;邓强;金明光;汪直超;韦智强;黄家都;何崇嘉;李德全 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N9/24 | 分类号： | G01N9/24;G03F7/32 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提出了一种显影液浓度测量装置及方法。所述显影液浓度量测装置包括：光阻测量模块、管道模块、浓度计测量模块、处理模块以及测量辅助模块。所述浓度计测量模块包括第一超声波浓度计，用以获得数据M。所述测量辅助模块包括第二超声波浓度计，用以获得数据N。所述处理模块根据所述数据M与所述数据N的差值是否处在目标范围内判定所述显影液浓度测量的否准确。本申请通过在显影液浓度测量装置增设一组超声波浓度计对显影液进行测量，通过两组测量数据的对比，进而提升显影液浓度测量装置对碳酸根浓度测量的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 浓度计 浓度测量装置 测量模块 超声波 处理模块 辅助模块 浓度测量 测量 测量数据 管道模块 量测装置 准确度 碳酸根 光阻 两组 申请 判定 增设 | ||
【主权项】：
1.一种显影液浓度测量装置，用以进行显影液中各成分浓度的测量，所述显影液包括光阻、四甲基氢氧化铵以及碳酸根，其特征在于，所述显影液浓度量测装置包括：光阻测量模块，用以接收所述显影液，并对所述显影液进行光阻的浓度的测量，以获得所述光阻的浓度a；管道模块，用以输送所述显影液；浓度计测量模块，包括第一超声波浓度计，所述浓度计测量模块用以接收所述显影液，并对所述显影液进行测量和计算，以获得包括所述四甲基氢氧化铵的浓度b1、所述碳酸根的浓度c1的数据M；测量辅助模块，包括第二超声波浓度计，所述测量辅助模块用以接收所述显影液，并对所述显影液进行测量，以获得包括所述四甲基氢氧化铵的浓度b2、所述碳酸根的浓度c2的数据N；处理模块，用以接收所述数据M和数据N，并将所述数据M与所述数据N进行对比，以及根据所述数据M与所述数据N的差值是否处在目标范围内判定所述显影液浓度测量的否准确。
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