[发明专利]金属层用蚀刻剂组合物和制造导电图案的方法有效
| 申请号： | 201910089721.7 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN110117792B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘仁浩;金范洙 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式提供一种金属层用蚀刻剂组合物，包括：62‑68重量％的磷酸；6‑8重量％的硝酸；4‑6重量％的醋酸；0.2‑1.0重量％的醋酸盐；0.1‑0.3重量％的亚磷酸；和余量的水。通过使用该金属层用蚀刻剂组合物，可以制备蚀刻缺陷减少的、具有精细尺寸的导电图案。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 蚀刻 组合 制造 导电 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属层用蚀刻剂组合物，包括：62‑68重量％的磷酸；6‑8重量％的硝酸；4‑6重量％的醋酸；0.2‑1.0重量％的醋酸盐；0.1‑0.3重量％的亚磷酸；和余量的水。
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