[发明专利]数据处理方法、数据处理装置及记录介质有效
申请号: | 201910096735.1 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN110134077B | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 犹原英司;秋田正史 | 申请(专利权)人: | 株式会社斯库林集团 |
主分类号: | G06F11/00 | 分类号: | G06F11/00 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 向勇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够在异常发生前获取详细的数据的数据处理方法。数据处理方法包括:采样步骤(S103),基于基板处理装置(20)的物理量的测定结果来求取时序数据7;评价值计算步骤(S105),将时序数据(7)与基准数据(8)进行来求取时序数据(7)的评价值;以及采样周期控制步骤,对每个时序数据(7)控制在采样步骤中利用的采样周期。在采样周期控制步骤中,在初始状态下将所有采样周期控制为正常周期(S101),在时序数据(7)的评价值为异常时,将求取时序数据(7)时的采样周期控制为比正常周期短的异常周期(S113)。 | ||
搜索关键词: | 数据处理 方法 装置 记录 介质 | ||
【主权项】:
1.一种数据处理方法,其特征在于,所述数据处理方法包括:采样步骤,基于基板处理装置的物理量的测定结果来求取时序数据,评价值计算步骤,通过将所述时序数据与基准数据进行比较,来求取所述时序数据的评价值,以及采样周期控制步骤,对每个所述时序数据控制在所述采样步骤中利用的采样周期;在所述采样周期控制步骤中,在初始状态下将在所述采样步骤中利用的所有采样周期控制为正常周期,在所述时序数据的评价值为异常时,将求取所述时序数据时的采样周期控制为比所述正常周期短的异常周期。
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