[发明专利]数据处理方法、数据处理装置及记录介质有效
| 申请号： | 201910096768.6 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN110134916B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 犹原英司;平藤祐美子 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G06F17/18 | 分类号： | G06F17/18 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法。为了处理由具有多个处理单元(25)的基板处理装置(20)得到的时序数据(7)，数据处理方法包括：评价值计算步骤(S102)，通过将时序数据(7)与基准数据(8)进行比较，来求取时序数据(7)的分数(9)；以及结果显示步骤(S107)，显示评价结果画面(50)，评价结果画面(50)针对每个处理单元(25)包括圆图(53)，该圆图(53)用于表示分数(9)异常的基板的张数即分数错误件数(52)以及表示分数错误件数(52)在处理过的基板的张数中的比例。分数错误件数(52)与圆图(53)的显示尺寸根据分数错误件数(52)而变化。 | ||
| 搜索关键词： | 数据处理 方法 装置 记录 介质 | ||
【主权项】：
1.一种数据处理方法，处理由具有多个处理单元的基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及结果显示步骤，显示评价结果画面，所述评价结果画面针对每个所述处理单元包括圆图，所述圆图用于表示在将所述评价值为异常的基板的张数作为异常件数时，所述异常件数在所处理过的基板的张数中的比例；所述圆图的显示尺寸根据所述异常件数而变化。
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