[发明专利]多孔质玻璃微粒体的制造方法和装置及玻璃母材制造方法有效
| 申请号： | 201910097487.2 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN110117161B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 佐藤信敏 | 申请（专利权）人： | 株式会社藤仓 |
| 主分类号： | C03C11/00 | 分类号： | C03C11/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于在使用含硅有机化合物作为原料的情况下，抑制发生回火以及多孔质玻璃微粒体的品质的下降。本发明的解决手段是一种多孔质玻璃微粒体的制造方法，具有如下工序：在旋转的起始构件(M)形成由含有含硅有机化合物的原料气体生成的玻璃微粒的沉积层(L)的工序；将供给到燃烧器(4)的气体由原料气体切换成吹扫气体的工序；在至少将原料气体从燃烧器(4)内排出去为止的期间，将吹扫气体以第1流量供给到燃烧器的工序；以及，将供给到燃烧器(4)的吹扫气体的流量切换成比第1流量小的第2流量的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 玻璃 微粒体 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多孔质玻璃微粒体的制造方法，具有如下工序：在旋转的起始构件形成由含有含硅有机化合物的原料气体生成的玻璃微粒的沉积层的工序，将供给到燃烧器的气体由所述原料气体切换成吹扫气体的工序，在至少将所述原料气体从所述燃烧器内排出去为止的期间，将所述吹扫气体以第1流量供给到所述燃烧器的工序，以及将供给到所述燃烧器的所述吹扫气体的流量切换成比所述第1流量小的第2流量的工序。
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