[发明专利]铜清洗剂在审
申请号: | 201910098514.8 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN109576722A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 李金城;吴豪旭 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23G1/18 | 分类号: | C23G1/18;C23G1/20 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种铜清洗剂,以所述铜清洗剂为100重量份为基础,包括:40~65重量份的去离子水;25~35重量份的丙酮缩甘油;0.001~2重量份的表面活性剂;以及0.01~2重量份的缓蚀剂。 | ||
搜索关键词: | 重量份 清洗剂 表面活性剂 去离子水 甘油 缓蚀剂 丙酮 | ||
【主权项】:
1.一种铜清洗剂,以所述铜清洗剂为100重量份为基础,包括:40~65重量份的去离子水;25~35重量份的丙酮缩甘油;0.001~2重量份的表面活性剂;以及0.01~2重量份的缓蚀剂。
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