[发明专利]一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺在审
| 申请号： | 201910106005.5 | 申请日： | 2019-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN109666895A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 王寒骁;郭高建 | 申请（专利权）人： | 江苏新思达电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺，包括以下步骤：将塑胶产品安装到蒸发镀设备上，投入蒸发材料，抽真空至6×10‑3Pa，通Ar气至1×10‑1Pa，持续射频放电将Ar气全部电离成离子状态，开始通电蒸发材料，同时持续通入Ar气，并持续射频放电，保持真空度在4×10‑2Pa，蒸发Cu材料，间隔5分钟，蒸发Ag材料，通大气，完成整个蒸着过程。本发明一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺利用了蒸发镀的设备，借鉴了溅镀的原理，性能优于溅镀，成本与蒸发镀相当。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 防辐射层 真空电镀 塑胶 射频放电 蒸发材料 溅镀 工艺利用 离子状态 塑胶产品 抽真空 电离 通电 | ||
【主权项】：
1.一种在塑胶上真空电镀Ag的电磁防辐射层EMI工艺，其特征在于，包括以下步骤：将塑胶产品安装到蒸发镀设备上，投入蒸发材料，抽真空至6×10‑3Pa，通Ar气至1×10‑1Pa，持续射频放电将Ar气全部电离成离子状态，开始通电蒸发材料，同时持续通入Ar气，并持续射频放电，保持真空度在4×10‑2Pa，蒸发Cu材料，间隔5分钟，蒸发Ag材料，通大气，完成整个蒸着过程。
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