[发明专利]一种曝光机预对位装置及曝光机在审
| 申请号： | 201910106522.2 | 申请日： | 2019-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN109597284A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王鹏飞;史朋超 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 215333 江苏省昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种曝光机预对位装置以及使用该曝光机预对位装置的曝光机，该曝光机预对位装置包括对位工作台和破片感应机构，其中，所述破片感应机构设置在所述对位工作台四周，用于检测基板是否破片。本发明通过设置破片感应机构，实现了预对位工序时的破片检出，有效避免破片流入下一工序而产生的宕机或刮伤光罩的技术问题，在检出破片时可以进行及时处理，有效提高了工作效率，降低了维修和停机成本。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光机 破片 预对位装置 感应机构 工作台 对位 检出 对位工序 工作效率 刮伤 光罩 基板 停机 宕机 检测 维修 | ||
【主权项】：
1.一种曝光机预对位装置，其特征在于，包括对位工作台和破片感应机构，其中，所述破片感应机构设置在所述对位工作台四周，用于检测基板是否破片。
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