[发明专利]微观单元磨蚀性表达方法测量装置及检测方法在审
| 申请号： | 201910108341.3 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN109612859A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 郭鑫;赵武;姜冲;万浩;陈领;于淼;张凯;于泽源;杜琳;蒋薇;吴年汉 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G01N3/44 | 分类号： | G01N3/44 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李佳 |
| 地址： | 610065 四川省成都市一*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微观单元磨蚀性表达方法测量装置以及检测方法，涉及材料检测技术领域。该微观单元磨蚀性表达方法测量装置包括基座、位置调节组件、工件移动台以及压头总成。位置调节组件设置于基座，压头总成通过连接件与位置调节组件连接，工件移动台可移动的设置于基座，且与压头总成对应。该微观单元磨蚀性表达方法测量装置结构简单，使用方便，精度高，能够避免压头模组之间的电磁干扰，又可以实现nm级的精确定位，能够快速准确的获得样品的磨蚀性能。 | ||
| 搜索关键词： | 方法测量 微观单元 磨蚀性 位置调节组件 压头总成 工件移动台 材料检测 电磁干扰 装置结构 可移动 连接件 压头模 检测 磨蚀 | ||
【主权项】：
1.一种微观单元磨蚀性表达方法测量装置，其特征在于，包括基座、位置调节组件、工件移动台以及压头总成；所述位置调节组件设置于所述基座，所述压头总成通过连接件与所述位置调节组件连接，所述工件移动台可移动的设置于所述基座，且与所述压头总成对应。
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