[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910111345.7 | 申请日： | 2019-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN109861662A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 于洪宇;唐楚滢;王亮;何明浩 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法。该薄膜体声波谐振器包括：支撑层、谐振器本体和支撑体；薄膜体声波谐振器包括器件区和围绕器件区的非器件区，谐振器本体位于器件区内的支撑层上；非器件区内的支撑层包括多个条状的弯折结构，弯折结构向背离谐振器本体的一侧弯折；非器件区包括第一子区域和围绕第一子区域的第二子区域，支撑体设置于第二子区域内的所述支撑层背离谐振器本体的一侧；其中，弯折结构的延伸方向与支撑层的径向方向之间的夹角不为零，且位于谐振器本体同一侧的弯折结构相互之间无交叠。本实施例提供的薄膜体声波谐振器，可以得到厚度更小、残余应力更低的支撑层，进而提高谐振频率。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑层 薄膜体声波谐振器 谐振器本体 弯折结构 器件区 子区域 支撑体 制备 背离 残余应力 谐振频率 交叠 弯折 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：支撑层、谐振器本体和支撑体；所述薄膜体声波谐振器包括器件区和围绕所述器件区的非器件区，所述谐振器本体位于所述器件区内的所述支撑层上；所述非器件区内的所述支撑层包括多个条状的弯折结构，所述弯折结构向背离所述谐振器本体的一侧弯折；所述非器件区包括第一子区域和围绕所述第一子区域的第二子区域，所述支撑体设置于所述第二子区域内的所述支撑层背离所述谐振器本体的一侧；其中，所述弯折结构的延伸方向与所述支撑层的径向方向之间的夹角不为零，且位于所述谐振器本体同一侧的所述弯折结构相互之间无交叠。
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