[发明专利]一种卷绕式真空镀膜机在审
| 申请号： | 201910111807.5 | 申请日： | 2019-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN109554680A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 李正平;李成林 | 申请（专利权）人： | 浙江德佑新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市经济技术开发区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种卷绕式真空镀膜机。该真空镀膜机包括有再处理箱及镀膜箱，再处理箱包括起卷辊、收卷辊和再处理系统，所述再处理系统包括有多个展平辊及温度控制辊，所述镀膜箱包括第一镀膜室、第二镀膜室和第三镀膜室，其中第一镀膜室与第三镀膜室采用溅射镀膜工艺，镀膜室内设有镀膜辊与镀膜室磁控靶，第二镀膜室采用蒸发镀膜工艺，镀膜室内设有镀膜辊及蒸发源。本发明可在一个工作流程中利用不同的制备工艺完成多种复合薄膜的制备，各个镀膜室相互隔离，互不影响；可改变表面温度的温度控制辊对刚镀膜完成的薄膜进行真空热处理或者冷却处理，加速薄膜表面的成型，优化薄膜的表面形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜室 镀膜 卷绕式真空镀膜机 再处理系统 镀膜辊 镀膜箱 再处理 薄膜 溅射镀膜工艺 真空镀膜技术 蒸发镀膜工艺 室内 真空镀膜机 真空热处理 表面形貌 复合薄膜 工作流程 加速薄膜 冷却处理 制备工艺 磁控靶 可改变 收卷辊 展平辊 蒸发源 卷辊 制备 成型 隔离 优化 | ||
【主权项】：
1.一种卷绕式真空镀膜机，其特征在于：该真空镀膜机包括有再处理箱(1)及镀膜箱，再处理箱(1)包括起卷辊(2)、收卷辊(9)和再处理系统，所述再处理系统包括有多个展平辊(5)及温度控制辊，所述温度控制辊分别为第一温度控制辊(4)、第二温度控制辊(6)和第三温度控制辊(7)；所述镀膜箱包括镀膜室，镀膜室包括第一镀膜室(21)、第二镀膜室(14)和第三镀膜室(10)。
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