[发明专利]带电粒子束装置、载台驱动范围限制方法和记录介质

摘要

本发明提供带电粒子束装置、载台驱动范围限制方法和记录介质，抑制载置有试样的试样保持器与试样室的内部构造物之间的干涉。具有：载台，支承载置有试样的试样保持器；载台驱动机构，驱动载台；试样室，收容载台；聚焦离子束镜筒，对试样照射聚焦离子束；电子束镜筒，对试样照射电子束；检测器，检测由于照射聚焦离子束或电子束而从试样产生的二次离子或二次电子；读取部，读取试样保持器上附带的识别信息；存储部，存储表示识别信息与试样保持器的形状的对应关系的保持器形状信息、以及试样室的内部构造物的形状信息即设计信息；载台驱动范围限制部，根据试样保持器的形状和内部构造物的形状，限制支承试样保持器的载台的驱动范围。

主权项

1.一种带电粒子束装置，其具有：载台，其支承载置有试样的试样保持器；载台驱动机构，其对所述载台进行驱动；试样室，其收容所述载台；聚焦离子束镜筒，其对所述试样照射聚焦离子束；电子束镜筒，其对所述试样照射电子束；检测器，其检测由于照射所述聚焦离子束或所述电子束而从所述试样产生的二次离子或二次电子；读取部，其读取所述试样保持器上附带的识别信息；存储部，其存储表示所述识别信息与所述试样保持器的形状之间的对应关系的保持器形状信息、以及所述试样室的内部构造物的形状信息即设计信息；以及载台驱动范围限制部，其根据基于所述读取部读取的所述识别信息和所述保持器形状信息得到的所述试样保持器的形状、以及所述内部构造物的形状，对支承所述试样保持器的所述载台的驱动范围进行限制。