[发明专利]导电层的制作方法和显示面板在审
申请号: | 201910125647.X | 申请日: | 2019-02-19 |
公开(公告)号: | CN109633964A | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 黄北洲 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;G03F7/00 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种导电膜的制作方法,包括步骤:在待涂布导电层的待涂布对象上涂布光阻;通过掩膜版曝光涂布光阻后的待涂布对象并显影处理,定义出无需涂布导电层的部分;在显影处理后的待涂布对象上涂布导电层;在涂布导电层后通过预设方式对涂布导电层后的待涂布对象清洗将无需涂布导电层的部分从待涂布对象上剥离,得到保留了需要涂布部分的导电层的待涂布对象。本发明还提供一种显示面板,本发明提供一种新的导电层的制作方法,省去湿法蚀刻的环节,避免因导电蚀刻药水特性,容易结晶,很容易发生制程异常与漏液风险,导致缺陷产生的问题,提高液晶面板的良率。 | ||
搜索关键词: | 导电层 涂布对象 显示面板 显影处理 光阻 制作 蚀刻 曝光涂布 缺陷产生 湿法蚀刻 液晶面板 预设方式 导电膜 掩膜版 导电 良率 漏液 药水 制程 清洗 剥离 保留 环节 | ||
【主权项】:
1.一种导电层的制作方法,其特征在于,包括步骤:在待涂布导电层的待涂布对象上涂布光阻;通过掩膜版曝光涂布光阻后的待涂布对象并显影处理,定义出无需涂布导电层的部分;在显影处理后的待涂布对象上涂布导电层;在涂布导电层后通过预设方式对涂布导电层后的待涂布对象清洗将无需涂布导电层的部分从待涂布对象上剥离,得到保留了需要涂布部分的导电层的待涂布对象。
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