[发明专利]一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法在审
| 申请号： | 201910127408.8 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109706425A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 汪烨辰 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/14 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 吕波 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，特别是一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法，在open mask上的高柔韧性的sheet上设置镂空的需要蒸镀的图形区域，沿着所述需要蒸镀的图形区域边缘向四周扩散镀上一层封闭的隔离薄膜。采用上述方法后，本发明具有以下优点：1、在蒸镀前，open mask与基板贴合时，sheet的图形边缘区域，薄膜与基板因压力紧密贴合。2、sheet上的金属铜薄膜与基板贴合后，在基板上形成隔离柱，减少蒸镀材料在基板上的扩散，从而降低蒸镀图形的大小变化。3、与此同时，金属铜薄膜因为有一定厚度，在sheet与基板贴合后，使得sheet本身会产生轻微的形变，从而降低sheet因受热或其他原因产生的形变，从而影响蒸镀区域的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 基板贴合 图形边缘 金属铜薄膜 材料扩散 图形区域 形变 基板 扩散 大小变化 高柔韧性 隔离薄膜 紧密贴合 原因产生 蒸镀材料 受热 镂空 隔离柱 基板因 薄膜 封闭 | ||
【主权项】：
1.一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法，其特征在于：在open mask上的高柔韧性的sheet上设置镂空的需要蒸镀的图形区域，沿着所述需要蒸镀的图形区域边缘向四周扩散镀上一层封闭的隔离薄膜。
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