[发明专利]调度器、衬底处理装置及衬底输送方法

摘要

本发明公开了调度器、衬底处理装置及衬底输送方法。其技术问题在于，减少用于衬底输送调度的计算量及计算时间。为此，提供一种调度器，其内置于衬底处理装置的控制部内，并计算衬底输送调度，衬底处理装置具备进行衬底的处理的多个衬底处理部、输送上述衬底的输送部、以及控制上述输送部和上述衬底处理部的上述控制部。该调度器具有：建模部，其使用图网络理论将衬底处理装置的处理条件、处理时间及制约条件建模为节点及边，创建图网络，计算到节点的最长路径长；和计算部，其基于最长路径长计算衬底输送调度。

主权项

1.一种调度器，内置于衬底处理装置的控制部内，并计算衬底输送调度，所述衬底处理装置具备进行衬底的处理的多个衬底处理部、输送所述衬底的输送部、以及控制所述输送部和所述衬底处理部的所述控制部，该调度器的特征在于，具有：建模部，其使用图网络理论将所述衬底处理装置的处理条件、处理时间及制约条件建模为节点及边，创建图网络，并计算到各节点的最长路径长；和计算部，其基于所述最长路径长计算所述衬底输送调度，所述建模部将成为创建所述图网络的对象的所述衬底中的、规定张数的所述衬底作为一个单位，创建所述衬底各自的图网络，所述调度器固定所创建的所述图网络中的一个，所述建模部将成为创建所述图网络的对象的所述衬底中的、除所述图网络已固定的所述衬底之外的规定张数的所述衬底作为另一单位，创建该另一单位的所述衬底各自的图网络，并追加到已固定的所述图网络，所述调度器固定所追加的所述图网络中的一个。