[发明专利]气体溶解液制造装置有效

专利信息
申请号: 201910133203.0 申请日: 2019-02-22
公开(公告)号: CN110180416B 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 中川洋一 申请(专利权)人: 株式会社荏原制作所
主分类号: B01F23/23 分类号: B01F23/23;B01F35/21
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 肖华
地址: 日本东京都*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种气体溶解液制造装置,能够提高气体溶解效率,并且能够提高气体溶解液的浓度的稳定性。气体溶解液制造装置(臭氧水制造装置(1))具备:供给臭氧气体的臭氧气体供给部(2);供给纯水的纯水供给部(3);以及臭氧水生成部(4),该臭氧水生成部使臭氧气体溶解于供给的纯水并生成臭氧水。臭氧水生成部(4)具备:第一喷嘴(10),该第一喷嘴具有第一最佳流量;第二喷嘴(11),该第二喷嘴具有与第一最佳流量不同的第二最佳流量;流量检测部(15),该流量检测部对供给的纯水的流量进行检测;以及控制部(16),该控制部基于在流量检测部检测的纯水的流量,对将供给的气体向第一喷嘴和第二喷嘴的哪一个供给进行控制。
搜索关键词: 气体 溶解 制造 装置
【主权项】:
1.一种气体溶解液制造装置,其特征在于,具备:气体供给部,该气体供给部供给作为气体溶解液的原料的气体;液体供给部,该液体供给部供给作为所述气体溶解液的原料的液体;以及气体溶解液生成部,该气体溶解液生成部使从所述气体供给部供给的气体溶解于从所述液体供给部供给的液体,从而生成气体溶解液,所述气体溶解液生成部具备:第一气体溶解部,该第一气体溶解部具有第一最佳流量;第二气体溶解部,该第二气体溶解部具有与所述第一最佳流量不同的第二最佳流量;流量检测部,该流量检测部对从所述液体供给部供给的液体的流量进行检测;以及控制部,该控制部基于由所述流量检测部检测出的所述液体的流量,对将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部的哪一个供给进行控制。
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