[发明专利]一种光瞳评价方法及其系统、电子装置在审
| 申请号： | 201910134376.4 | 申请日： | 2019-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN111611764A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 牛志元 | 申请（专利权）人： | 深圳晶源信息技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/398 | 分类号： | G06F30/398;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 | 代理人： | 王琴;蒋慧 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光瞳评价方法及其系统、电子装置，在所述光瞳评价方法及其系统中，基于生成的测试图形集合及与待评价的光瞳对应的光学模型，获得符合预期要求的关键图形，并通过仿真处理，可以建立起与对应待评价的光瞳相匹配的X方向非均衡度、Y方向非均衡度、椭圆度数值与光刻性能之间的关系，从而可提供光瞳参数对光刻性能的影响大小的直观理解。在本发明中，通过获取与所述待评价的光瞳匹配的光学模型，可以针对待评价的光瞳从而仿真出对应的测试图形，基于筛选获得的测试图形，可以进一步获得与待评价的光瞳的对应的X方向非均衡度、Y方向非均衡度及椭圆度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 评价 方法 及其 系统 电子 装置 | ||
【主权项】：
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