[发明专利]一种APS等离子制备氮化铝粉末的方法及氮化铝粉末和应用有效
申请号: | 201910135349.9 | 申请日: | 2019-02-20 |
公开(公告)号: | CN109650897B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 陈焕涛;朱晖朝;黄健;张忠诚;况敏;黄仁忠;刘加宋;张玉桧;王昊 | 申请(专利权)人: | 广东省新材料研究所 |
主分类号: | C04B35/581 | 分类号: | C04B35/581;C04B35/626;H01L23/15;H01L23/373 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 李永宏 |
地址: | 510651 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种APS等离子制备氮化铝粉末的方法及氮化铝粉末和应用,属于材料技术领域。一种APS等离子制备氮化铝粉末的方法,包括:采用APS等离子喷枪对经过预处理的铝粉进行氮气送粉,氮气的气体流量为20±2L/min。该方法使得铝粉在等离子体的过程中,在氮气的环境中,Al的核电子膜层与N核电子膜层形成稳定的AlN化学键,形成AlN粉末。得到的AlN粉末粒度细、耐磨性好、强度高,具有较高的品质。该制备方法灵活性强,操控简便,可以实现产量化。 | ||
搜索关键词: | 一种 aps 等离子 制备 氮化 粉末 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种APS等离子制备氮化铝粉末的方法,其特征在于,包括:采用APS等离子喷枪对经过预处理的铝粉进行氮气双送粉,所述氮气的气体流量为20±2L/min。
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