[发明专利]一种弧形工件激光直写曝光方法在审
| 申请号： | 201910137676.8 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN109739073A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 陈国军;宁震坤;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 钧迪智能装备科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/24 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人： | 李宏伟 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种弧形工件激光直写曝光方法，其包括以下步骤：S1、将弧形工件固定在一个可摆动的座体上，将DMD曝光镜头安装在X滑座上；S2、位置初始化；S3、座体带动弧形工件摆动，在摆动的过程中DMD曝光镜头曝光在待曝光面上形成一条曝光带；S4、X滑座移动一个曝光带的宽度；S5、座体带动弧形工件摆动，在摆动的过程中DMD曝光镜头曝光在待曝光面上再次形成一条曝光带；S6、X滑座移动一个曝光带的宽度；S7、重复步骤S3至S6，直至弧形工件的待曝光面全部完成曝光。该激光直写曝光方法可以对弧形工件的内凹的圆柱面状的待曝光面进行曝光，使曝光图像清晰，曝光动作可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 弧形工件 摆动 激光直写 曝光镜头 滑座 座体 曝光面 位置初始化 曝光动作 曝光图像 圆柱面状 可摆动 移动 内凹 清晰 重复 | ||
【主权项】：
1.一种弧形工件激光直写曝光方法，其包括以下步骤：S1、将弧形工件固定在一个可摆动的座体上，该弧形工件具有一个内凹的圆柱面状的待曝光面，该座体的摆动中心与圆柱状的待曝光面的中心轴重合；定义与所述中心轴平行的方向线为X轴，将DMD曝光镜头安装在一个可沿X轴滑动的X滑座上，该DMD曝光镜头朝向待曝光面且径向设置，定义该径向方向为Y轴方向；S2、位置初始化X滑座滑动使DMD曝光镜头处于待曝光面的第一侧边的初始侧曝光位置，座体摆动使DMD曝光镜头处于待曝光面的第一端部的初始端曝光位置；S3、座体带动弧形工件由第一端部的初始端曝光位置摆向第二端部的中止端曝光位置，在摆动的过程中DMD曝光镜头曝光在待曝光面上形成一条曝光带；S4、X滑座向待曝光面的第二侧边移动一个曝光带的宽度；S5、座体带动弧形工件由第二端部的中止端曝光位置摆向第一端部的初始端曝光位置，在摆动的过程中DMD曝光镜头曝光在待曝光面上再次形成一条曝光带；S6、X滑座向待曝光面的第二侧边移动一个曝光带的宽度；S7、重复步骤S3至S6，直至弧形工件的待曝光面全部完成曝光。
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