[发明专利]进气装置及反应腔室在审
| 申请号： | 201910138374.2 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111613508A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 王乐;柳朋亮 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种进气装置及反应腔室，包括进气本体和喷嘴，进气本体的上端面设有环形凹道，在进气本体的环形凹道处设置有安装孔，喷嘴中设置有进气孔，喷嘴可拆卸的安装在安装孔中，且进气孔与环形凹道连通。本发明提供的进气装置及反应腔室能够方便的对进气装置进行清理，降低进气装置的维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 反应 | ||
【主权项】：
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