[发明专利]蒸镀装置及其控制方法在审
| 申请号： | 201910142564.1 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111607761A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 林进志 | 申请（专利权）人： | 陕西坤同半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 西安亚信智佳知识产权代理事务所(普通合伙) 61241 | 代理人： | 杨亚会 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种蒸镀装置及其控制方法，涉及真空蒸镀技术领域。该蒸镀装置包括蒸镀腔体，所述蒸镀腔体的一个表面设有多个蒸镀孔；第一蒸镀源，通过第一管道与第二管道连通；第二蒸镀源，通过第三管道与所述第二管道连通；所述第二管道与所述蒸镀腔体连通，且所述第一管道、第二管道和第三管道连接处设有第一阀门。本申请可以可在不停机的情况下切换蒸镀源，使蒸镀装置持续作业，提升蒸镀装置的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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