[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 201910147039.9 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN110241390A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 足立耕一 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/04;C23C14/18 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚;习冬梅 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供可有效地抑制粒子附着于被成膜材料上的成膜装置。成膜室(12)具有用以捕获粒子的粒子捕获部，对该粒子捕获部实施滚花加工，在该滚花加工后实施空气喷射加工，且在该空气喷射加工后实施熔射加工。通过熔射加工使粒子捕获部的表面变得比通过空气喷射加工而形成的表面的粗糙度更粗。因此，可使附着粒子的面积变大，从而捕获更多的粒子，由此可有效地抑制粒子附着于被成膜材料上。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 空气喷射 粒子捕获 成膜材料 成膜装置 粒子附着 有效地 滚花 熔射 粒子 捕获粒子 成膜室 粗糙度 附着 捕获 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，其是具有成膜室，在该成膜室内进行用以将成膜材料成膜于被成膜材料上的处理的成膜装置，其特征在于，所述成膜室具有用以捕获粒子的粒子捕获部，对该粒子捕获部实施了滚花加工，在该滚花加工后实施了空气喷射加工，且在该空气喷射加工后实施了熔射加工。
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