[发明专利]一种晶体提拉机构及晶体生长装置在审
| 申请号： | 201910151553.X | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111621843A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 沈伟民;刘大海 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶体提拉机构及晶体生长装置，所述晶体提拉机构包括:腔体；晶体提拉单元，所述晶体提拉单元位于所述腔体中，配置为通过提拉晶绳提拉晶体；颗粒捕获单元，所述颗粒捕获单元位于所述腔体中，配置为捕获所述提拉晶绳上吸附的颗粒物。根据本发明提供的晶体提拉机构，通过颗粒捕获单元捕获提拉晶绳上吸附的颗粒物，避免了提拉过程中产生的金属颗粒落入硅熔体，进而避免了生长后的单晶棒中金属元素浓度超出许可范围，提高了产品质量和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 机构 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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