[发明专利]用于晶圆图像生成的方法和系统在审
| 申请号： | 201910154524.9 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN110763696A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 明图·杜塔;萨米拉·巴拉德瓦加·哈牙瓦达拉;沙闪克·什里坎特·阿加斯;拉蒂什·巴拉干加达尔;安莫·瓦尔马;申宪周 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 杨姗 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本文的实施例提供了用于根据CAD文件生成晶圆的管芯张量的方法和系统。需要具有晶圆的图像，其可以是完美参考图像的忠实再现。之后，可以通过将完美参考图像中的管芯与晶圆的实际图像中的管芯进行比较来将完美参考图像用于检测晶圆中的缺陷。可以根据CAD文件生成完美参考图像，CAD文件包括晶圆的电路设计。生成的晶圆的完美参考图像可以称为管芯张量。管芯张量可以包括预定义数量的切片，可以使用预定义数量的切片来改善对晶圆的管芯中的缺陷的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 管芯 参考图像 预定义 切片 电路设计 实际图像 检测 图像 | ||
【主权项】：
1.一种根据计算机辅助设计CAD文件生成晶圆的管芯张量的方法，所述方法包括：/n由分割引擎将根据所述CAD文件获得的线框图像分割成多个实体；/n由图像变换引擎基于所述线框图像、计量、设计规范、工艺信息和光学信息中的至少一个来对所述多个实体中的每一个执行变换，其中所述变换是基于所述光学信息迭代地执行的；以及/n由拼接引擎通过对变换后的多个实体中的每一个进行组合，生成包括预定义数量的切片在内的管芯张量。/n
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