[发明专利]一种掩模夹持单元及掩模拉伸装置

摘要

本发明公开了一种掩模夹持单元和掩模拉伸装置，属于光刻领域。该掩模夹持单元包括夹板和驱动块，夹板用于夹持掩模，夹板上设置有凸起；驱动块具有斜面，且斜面抵靠凸起；驱动块被配置为沿第一方向移动，以使凸起沿第二方向移动以夹持掩模。掩模拉伸装置包括上述掩模夹持单元。本发明通过设置具有斜面的驱动块、以及设置于夹板上的凸起，使得驱使驱动块沿第一方向驱动力转换为驱动凸起沿第二方向移动的驱动力，进而使得夹板能够实现夹持或松开，即上述掩模夹持单元在掩模夹持过程中仅仅存在夹板对掩模的夹持力，不存在其他方向扭转等附加力，保证了掩模PPA不受影响。