[发明专利]被处理体的载置装置和处理装置在审
| 申请号： | 201910161642.2 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN110246740A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 内田阳平;须川直树;阿部克史;肥田刚 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明目的在于提供一种被处理体的载置装置，具有使边缘环与载置台稳定地接触的结构。该载置装置包括：在处理容器的内部载置被处理体的载置台；边缘环，其在上述被处理体的外周部载置在上述载置台，形成有卡止部；导电性的连接部，其通过上述卡止部与上述边缘环连接；和第一接触部，其在使上述边缘环与该连接部连接的状态下使上述边缘环与上述载置台接触。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘环 被处理体 载置装置 卡止部 载置台 载置 导电性 处理容器 处理装置 外周部 | ||
【主权项】：
1.一种被处理体的载置装置，其特征在于，包括：载置台，其在处理容器的内部载置被处理体；边缘环，其在所述被处理体的外周部载置在所述载置台，形成有卡止部；导电性的连接部，其通过所述卡止部与所述边缘环连接；和第一接触部，其在使所述边缘环与该连接部连接的状态下，使所述边缘环与所述载置台接触。
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