[发明专利]多层离子环保镀在审

专利信息
申请号: 201910163083.9 申请日: 2019-03-05
公开(公告)号: CN109852928A 公开(公告)日: 2019-06-07
发明(设计)人: 蒋建华;向毅 申请(专利权)人: 昆山金百辰金属科技有限公司
主分类号: C23C14/08 分类号: C23C14/08;C23C14/12;C23C14/18;C23C14/32
代理公司: 苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙) 32329 代理人: 仲昌民
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种多层离子环保镀,涉及真空镀领域,旨在解决现有技术中采用水电镀会污染环境的问题,其技术方案要点是:在密闭的空间内,使真空度达到5.0pa~9.0pa;然后在空间内加热至150℃~280℃;然后通电使二氧化钛靶材离子化后附着在工件表面,通电使铜靶材附着,铜的厚度保持1‑5μm;在上述密闭空间内通电靶材使镍铬合金附着在铜表面,通电使铬靶材附着在镍铬合金表面,在真空度为5.0‑6.0pa的环境中,充入稀有气体达到3~5pa;通电使AF保护膜蒸发为离子态后,偏压通电工件,使AF保护膜附着在工件表面。本发明的多层环保离子镀能够达到水电镀的效果,并且耐磨耐腐蚀性得到很大的提高,色彩鲜明,亮度高,同时不会产生污染环境的物质,降低了对环境的污染。
搜索关键词: 附着 通电 多层 工件表面 镍铬合金 保护膜 水电镀 离子 环保 二氧化钛靶材 技术方案要点 密闭空间 耐腐蚀性 稀有气体 铬靶材 离子镀 离子化 离子态 铜靶材 铜表面 真空镀 密闭 耐磨 靶材 加热 蒸发 污染
【主权项】:
1.一种多层离子环保镀,其特征在于:包括以下工艺步骤,(1)喷二氧化钛:在密闭的空间内,抽真空,使真空度达到5.0pa~9.0pa;然后在空间内加热至150℃~280℃;然后通电使二氧化钛靶材离子化后附着在工件表面;(2)镀铜:待二氧化钛附着稳定后,同样的空间内通电使铜靶材附着,铜的厚度保持1‑5μm;(3)镀镍铬合金:在上述密闭空间内通电靶材使镍铬合金附着在铜表面,厚度为300‑500nm;(4)镀铬:在上述密闭空间内通电使铬靶材附着在镍铬合金表面,厚度为1~3μm;(5)镀AF保护膜:在真空度为5.0‑6.0pa的环境中,充入稀有气体达到3~5pa;然后通电使AF保护膜蒸发为离子态后,偏压通电工件,使AF保护膜附着在工件表面。
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