[发明专利]EFEM以及EFEM的气体置换方法

摘要

本发明提供EFEM以及EFEM的气体置换方法。在使壳体内的非活性气体循环的类型的EFEM中，抑制成本的增加，并且抑制颗粒放出到输送室内。EFEM具有输送室和回归通路，构成为供氮循环，所述输送室供由用于去除颗粒的FFU净化后的氮沿预定方向流动，所述回归通路使氮自输送室的下游侧向FFU返回。EFEM具备输送机器人，所述输送机器人配置在输送室内，在保持有晶圆的状态下进行预定的动作。输送机器人具有：壳构件，其形成有开口；臂机构，其配置于壳构件的外侧，用于保持晶圆；支柱，其支承臂机构，并且贯穿于开口；以及驱动机构，其收纳于壳构件，用于驱动支柱，输送机器人设有将壳构件与所述回归通路连接的连接通路。

主权项

1.一种EFEM，所述EFEM具有输送室和回归通路，构成为供非活性气体循环，所述输送室供由用于去除颗粒的风扇式过滤单元净化后的所述非活性气体沿预定方向流动，所述回归通路使所述非活性气体自所述输送室的所述预定方向上的下游侧向所述风扇式过滤单元返回，其特征在于，所述EFEM具备自动装置，所述自动装置配置在所述输送室内，在保持有基板的状态下进行预定的动作，所述自动装置具有：壳构件，其形成有开口；保持部，其配置于所述壳构件的外侧，用于保持所述基板；支承部，其支承所述保持部，并且贯穿于所述开口；以及驱动机构，其收纳于所述壳构件，用于驱动所述支承部，所述自动装置设有将所述壳构件与所述回归通路连接的连接通路。