[发明专利]一种晶圆生产集质检与修复一体的光刻胶涂敷检测装置

摘要

本发明公开了一种晶圆生产集质检与修复一体的光刻胶涂敷检测装置，其结构包括检测机、显示屏、一体质检仓、检修仓，所述检测机嵌装有显示屏，所述检测机安装有一体质检仓，所述检测机装设有检修仓，所述一体质检仓由透明玻璃、仓口、涂敷结构、质检结构组成，所述透明玻璃与仓口胶连接，所述涂敷结构锁定在仓口上，所述仓口安装有质检结构，本发明晶圆胶膜通过质检结构实现上端180度的半旋转扫描、扫描旋架实现底端的扫描、边缘扫描架通过扫描旋架的旋转对晶圆胶膜进行对边缘扫描，若扫描出产品缺陷后直接通过仓口进行加胶或减胶(旋转涂敷)，既省去了人工成本又提高了检测效率和产品质量。

主权项

1.一种晶圆生产集质检与修复一体的光刻胶涂敷检测装置，其结构包括检测机(1)、显示屏(2)、一体质检仓(3)、检修仓(4)，所述检测机(1)嵌装有显示屏(2)，所述检测机(1)安装有一体质检仓(3)，所述检测机(1)装设有检修仓(4)，其特征在于：所述一体质检仓(3)由透明玻璃(30)、仓口(31)、涂敷结构(32)、质检结构(33)组成，所述透明玻璃(30)与仓口(31)胶连接，所述涂敷结构(32)锁定在仓口(31)上，所述仓口(31)安装有质检结构(33)。