[发明专利]研磨用组合物在审
| 申请号： | 201910167508.3 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN110240866A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 吉崎幸信;高桥洋平 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种有利于提高高度差性能(特别是侵蚀)的、新型的研磨用组合物。一种研磨用组合物，其为用于对研磨对象物进行研磨的研磨用组合物，其包含磨粒和分散介质，前述磨粒的平均一次粒径为40nm以下，前述磨粒中的粒径0.2～1600μm的粗大颗粒在前述研磨用组合物每1cm3中为20000个以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨用组合物 磨粒 平均一次粒径 研磨对象物 粗大颗粒 分散介质 研磨 高度差 粒径 侵蚀 | ||
【主权项】：
1.一种研磨用组合物，其为用于对研磨对象物进行研磨的研磨用组合物，其中，包含磨粒和分散介质，所述磨粒的平均一次粒径为40nm以下，所述磨粒中的粒径0.2～1600μm的粗大颗粒在所述研磨用组合物每1cm3中为20000个以下。
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