[发明专利]用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构

摘要

本发明公开了一种用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构，包括机架（8），设置在机架底板上的直线滑轨（15）和安装在其上面的伸缩板（1），还包括传动轮组，与传动轮组驱动连接的电机（7）和皮带（10），所述电机（7）通过传动轮组使皮带（10）在机架（8）的上面作传输运动，所述伸缩板（1）以直线滑轨（15）导向，通过伸缩气缸（9）的伸缩带动伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）的一端，当所述伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）时，所述皮带（10）通过所述传动轮组使得其始终处于张紧状态。本发明的伸缩结构，硅片上不易产生皮带印，产品的合格率较高，安装和调试方便。

主权项

1.一种用于石墨舟插片机硅片传输线的伸缩结构，包括机架（8），设置在机架底板上的直线滑轨（15）和安装在其上面的伸缩板（1），还包括传动轮组，与传动轮组驱动连接的电机（7）和皮带（10），其特征在于：所述电机（7）通过传动轮组使皮带（10）在机架（8）的上面作传输运动，所述伸缩板（1）以直线滑轨（15）导向，通过伸缩气缸（9）的伸缩带动伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）的一端，当所述伸缩板（1）伸出或缩进所述机架（8）时，所述皮带（10）通过所述传动轮组使得其始终处于张紧状态。