[发明专利]硅片舟转移机构及转移方法

摘要

本发明公开了一种硅片舟转移机构，包括基板，在所述基板上安装有升降气缸、X轴归正单元和Y轴归正单元，在所述升降气缸底部连接有真空吸盘；所述升降气缸安装在所述基板下方，用于带动所述真空吸盘上升或下降；所述真空吸盘用于吸取硅片舟；所述X轴归正单元用于沿X轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟，所述Y轴归正单元用于沿Y轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟。所述硅片舟转移机构，提高了将硅片舟搬运至输送小车上的效率和效果，进而提高太阳能电池硅片的加工效率，可实现晶体硅太阳能电池加工生产的自动化，降低生产成本。本发明还提供了一种应用所述硅片舟转移机构的硅片舟转移方法。

主权项

1.一种硅片舟转移机构，其特征在于，包括基板，在所述基板上安装有升降气缸、X轴归正单元和Y轴归正单元，在所述升降气缸底部连接有真空吸盘，其中，升降气缸：安装在所述基板下方，用于带动所述真空吸盘上升或下降；真空吸盘：用于吸取硅片舟；X轴归正单元：用于沿X轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟，包括安装在所述基板上的X轴归正气缸及连接在所述X轴归正气缸上的X轴归正板，所述X轴归正气缸可带动X轴归正板沿X轴方向移动；Y轴归正单元：用于沿Y轴方向归正真空吸盘所吸取的硅片舟，包括安装在所述X轴归正板上的Y轴归正气缸及连接在所述Y轴归正气缸上的Y轴归正板，所述Y轴归正气缸可带动Y轴归正板沿Y轴方向移动。