[发明专利]光致抗蚀剂剥离剂有效
| 申请号： | 201910173523.9 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN110244526B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 曹远美;M·费尼斯;R·D·彼得斯 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文提供了用于从衬底除去光致抗蚀剂的改善的剥离剂溶液，其通常具有高于约95℃的闪点和高负载容量。所述剥离剂溶液包含二乙二醇丁醚，季铵氢氧化物，和具有至少两个碳原子、至少一个氨基取代基和至少一个羟基取代基的烷醇胺，所述氨基和羟基取代基与两个不同的碳原子连接。一些制剂可另外含有第二溶剂。所述制剂不含DMSO。另外提供了使用所述剥离剂溶液的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种用于从衬底除去光致抗蚀剂的剥离剂溶液，所述溶液包含：约30重量％至约97重量％的二乙二醇丁醚；约1重量％至约7重量％的季铵氢氧化物；约1重量％至约75重量％的烷醇胺或者第二溶剂或者烷醇胺和第二溶剂；约0.001重量％至约7重量％的腐蚀抑制剂；和约0.1重量％至约20重量％的水；并且其中所述溶液基本上不含DMSO。
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