[发明专利]一种半导体器件加工用激光切割设备

摘要

本发明公开了一种半导体器件加工用激光切割设备，包括机体、工作板，本装置在工作板中部设置固定装置，启动气缸将内侧推杆进行推动，即可通过第一连接件作用力于第二连接件，最后第二连接件能施加力给连杆使得压板对底板顶端中部的器件的固定，稳定性强；在工作板右端中部设置辅助装置，通过进水口注入水，在进水口左侧设置有单向阀，能防止注水时发生倒流，启动水泵工作，水泵左侧通过抽水管对水源进行抽取，接着由排水管排入到连接管内，接着连接管到左侧的喷雾头进行喷出，能对产生的粉尘进行高效降尘，消除效果好；辅助装置内上端设置有静电消除装置，启动内部产生大量正负离子能对产生的静电进行快速高效中合，效果好，效率高。

主权项

1.一种半导体器件加工用激光切割设备，包括机体（1）、固定板（2）、工作板（3）、第一滑轨（6）、滑块（7）、支撑滑动件（8）、连接线（9）、第一电机（10）、背板（11）、第一滑杆（12）、第一丝杆（13）、滑动框（14）、第二电机（15）、第二丝杆（16）、第二滑杆（17）、安装框（18）、激光发生器（19）、连接板（20）、滚珠轴承（21）、第三丝杆（22）、第三电机（23）和锁定板（24），其特征在于：还包括固定装置（4）和辅助装置（5），所述机体（1）前后两端设置有固定板（2），所述固定板（2）左右两端设置有工作板（3），所述工作板（3）顶端中部设置有固定装置（4），所述固定装置（4）右侧设置有辅助装置（5），所述固定板（2）左右两端与第一滑轨（6）固定连接，所述第一滑轨（6）右侧通过滑块（7）与支撑滑动件（8）滑动连接，所述机体（1）背面右端设置有连接线（9），所述支撑滑动件（8）右侧上端设置有第一电机（10），所述支撑滑动件（8）内侧上端固定有背板（11），所述背板（11）前端面上下两端固定有第一滑杆（12），所述背板（11）前端面中部设置有第一丝杆（13），所述第一丝杆（13）右侧贯穿支撑滑动件（8）与第一电机（10）左侧输出轴转动连接，所述第一丝杆（13）外径表面中部通过滚珠轴承与滑动框（14）滑动连接，所述滑动框（14）顶部通过螺栓与第二电机（15）进行固定，所述第二电机（15）底部贯穿滑动框（14）顶部与第二丝杆（16）转动连接，并且第二丝杆（16）底部通过轴座与滑动框（14）底部固定连接，所述滑动框（14）内左右两端设置有第二滑杆（17），所述第二滑杆（17）前端面设置有安装框（18），所述安装框（18）底部通过螺栓与激光发生器（19）进行固定，所述支撑滑动件（8）底部通过螺栓与连接板（20）进行固定，所述连接板（20）顶部设置有滚珠轴承（21），所述滚珠轴承（21）内中部与第三丝杆（22）转动连接，所述第三丝杆（22）背面通过轴座贯穿固定板（2）中部与第三电机（23）前端输出轴进行转动连接，并且第三电机（23）内四端通过螺栓与固定板（2）进行固定，所述第二丝杆（16）外径表面通过滚珠轴承与锁定板（24）滑动连接，并且锁定板（24）内四端通过螺栓与滑动框（14）进行固定，所述固定装置（4）包括底板（41）、固定座（42）、气缸（43）、第一连接件（44）、支撑座（45）、第二连接件（46）、连杆（47）和压板（48），所述底板（41）顶部左右两端通过螺栓与固定座（42）固定连接，所述固定座（42）内右上端通过螺栓与气缸（43）进行固定，所述气缸（43）左侧推杆通过固定轴与第一连接件（44）固定，所述第一连接件（44）底部右端通过螺栓与支撑座（45）固定连接，所述第一连接件（44）内左端通过第二连接件（46）与连杆（47）固定连接，所述连杆（47）左侧设置有连杆（47），并且连杆（47）外径表面右端与支撑座（45）顶部左端套筒进行滑动连接，所述连杆（47）左侧与压板（48）固定连接，所述底板（41）内四端通过螺栓与工作板（3）进行固定，所述辅助装置（5）包括主体（51）、进水口（52）、喷雾窗（53）、静电消除装置（54）、单向阀（55）、抽水管（56）、水泵（57）、排水管（58）、连接管（59）、固定杆（510）和喷雾头（511），所述主体（51）右侧下端设置有进水口（52），所述主体（51）左侧上端嵌入有喷雾窗（53），所述主体（51）顶部设置有静电消除装置（54），所述主体（51）右侧下端设置有单向阀（55），并且单向阀（55）右侧与进水口（52）螺纹连接，所述主体（51）内左端设置有抽水管（56），并且抽水管（56）顶部右端设置有水泵（57），所述水泵（57）顶端中部设置有排水管（58），所述排水管（58）顶部与连接管（59）进行固定，并且连接管（59）内与排水管（58）相互贯通，所述连接管（59）右侧通过固定杆（510）与主体（51）进行固定，所述连接管（59）左侧设置有喷雾头（511），所述主体（51）底部与工作板（3）固定连接，所述第一电机（10）、第二电机（15）、激光发生器（19）、第三电机（23）和水泵（56）均与连接线（9）电连接。