[发明专利]测定器和用于检查聚焦环的系统的动作方法有效
| 申请号： | 201910176495.6 | 申请日： | 2019-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN110243273B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 杉田吉平;河野太辅 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供测定器和用于检查聚焦环的系统的动作方法，能够掌握聚焦环的消耗量。测定器具备基底基板、多个传感器电极、高频振荡器以及运算部。基底基板呈圆盘状。多个传感器电极设置于基底基板。高频振荡器被设置为向多个传感器电极提供高频信号。运算部根据与多个传感器电极中的电位相应的多个检测值来计算表示多个传感器电极各自的静电电容的多个测定值。运算部具有将聚焦环的消耗量与同该消耗量对应的多个测定值的代表值相对应所得的表。运算部计算多个测定值的平均值，导出表中与多个测定值的平均值对应的聚焦环的消耗量。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 用于 检查 聚焦 系统 动作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测定器，配置在被聚焦环包围的区域内，导出所述聚焦环的消耗量，该测定器具备：圆盘状的基底基板；多个传感器电极，所述多个传感器电极设置于所述基底基板；高频振荡器，其被设置为向所述多个传感器电极提供高频信号；以及运算部，其构成为根据与所述多个传感器电极中的电位相应的多个检测值来计算表示所述多个传感器电极各自的静电电容的多个测定值，其中，所述运算部具有将所述聚焦环的消耗量与同该消耗量对应的所述多个测定值的代表值相对应所得的表，计算所述多个测定值的平均值，导出所述表中与所述多个测定值的平均值对应的所述聚焦环的消耗量。
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