[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明的课题在于提供能够抑制向基板循环供给的处理液的浓度降低的基板处理装置及基板处理方法。本发明的解决手段为：根据由配置于显影槽(21)的底面(2B)上的第1浓度计(M1)测得的显影液的浓度，利用分隔板移动机构(12)而使分隔板(11)沿搬送方向移动，由此，对从沿水平方向搬送的基板(S)的上表面流下的显影液(DL)的回收范围进行变更。结果，能够抑制在向显影喷嘴(22)循环供给的显影液中混入在水洗槽(31)中被供给至基板(S)的纯水。

主权项

1.基板处理装置，其具备：搬送部，所述搬送部在水平地支承基板的同时将所述基板沿水平方向搬送；第1供给部，所述第1供给部向由搬送部搬送的基板供给第1处理液；第1回收部，所述第1回收部对由第1供给部供给并从基板流下的第1处理液进行回收；循环供给部，所述循环供给部将由第1回收部回收的第1处理液向第1供给部循环供给；除去部，所述除去部将附着于由第1供给部供给第1处理液并由搬送部搬送的基板上的第1处理液除去；第2供给部，所述第2供给部在比除去部更靠搬送部的搬送方向的下游侧，供给与第1处理液种类不同的第2处理液；第2回收部，所述第2回收部对由第2供给部供给并从基板流下的第2处理液进行回收；第1浓度测定部，所述第1浓度测定部对第1回收部至循环供给部中的第1处理液的浓度进行测定；和回收范围变更部，所述回收范围变更部根据由第1浓度测定部得到的测定结果，对利用第1回收部进行的、所述搬送方向上的回收范围进行变更。