[发明专利]镀膜离子源的控制测试装置在审
| 申请号： | 201910178450.2 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN109881161A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 张鹏蛟;李俊周;钦杰;侯瑞;周博文;李文亮;许世全;张力平;孙安 | 申请（专利权）人： | 江苏安德信超导加速器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人： | 阮志刚 |
| 地址： | 212009 江苏省镇江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜离子源的控制测试装置，包含有设置在真空室内的石英锅，所述石英锅上连接有通过氩气的氩气管道，所述石英锅的下方还设有用于激发氩气的RF线圈，所述石英锅的上部设有栅网；通过采用抗干扰能力强的PLC控制器来处理数据的采集和控制外部硬件设备，提高了抗电磁干扰的能力，实现对镀膜离子源的工作范围的精确测量，以确保该镀膜离子源能够满足生产的需求，从而保证镀膜离子源的工作质量。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 镀膜 石英 氩气 控制测试 外部硬件设备 抗电磁干扰 抗干扰能力 处理数据 氩气管道 栅网 测量 采集 室内 激发 保证 生产 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜离子源的控制测试装置，其特征在于，包含有设置在真空室内的石英锅，所述石英锅上连接有通过氩气的氩气管道，所述石英锅的下方还设有用于激发氩气的RF线圈，所述石英锅的上部设有栅网；所述石英锅上还连接有正高压源、负高压源，所述正高压源和负高压源均由PLC控制器进行智能控制，所述栅网的最底层通过正高压源产生的正高压将等离子封入石英锅，所述栅网的中间层通过负高压源产生的负高压将正离子抽出并打在目标基板上；所述PLC控制器通过RF信号源与所述RF线圈连接；所述氩气管道上设有流量控制器，所述流量控制器与所述PLC控制器信号连接；所述真空室还连接有真空泵，所述真空泵与所述PLC控制器信号连接。
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