[发明专利]背板、使用其的溅射靶材及其使用方法在审
| 申请号： | 201910184139.9 | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN110684951A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 杨清河;吴智稳;翁基祥;苏梦鹏 | 申请（专利权）人： | 住华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 背板、使用其的溅射靶材及其使用方法。背板包括第一板体、第二板体与固定件。固定件可拆地连接第一板体及第二板体。本发明第一板体、第二板体与流体管路的组装方法简单、快速。相较于采用焊接工艺(bonding)的组装方式，本发明使用锁固方法可降低组装时间及制造成本，提升生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 第一板 板体 固定件 背板 组装 焊接工艺 溅射靶材 流体管路 生产效率 制造成本 组装方式 地连接 可拆 锁固 | ||
【主权项】：
1.一种背板，其特征在于，该背板包括：/n一第一板体；/n一第二板体；以及/n多个固定件，用以可拆地连接该第一板体及该第二板体。/n
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