[发明专利]探针卡测试装置及其信号转接模块有效
| 申请号： | 201910203560.X | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111721979B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 李文聪;谢开杰;刁盈铭;郑孟杰;陈彦辰 | 申请（专利权）人： | 台湾中华精测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张福根;付文川 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种探针卡测试装置及其信号转接模块。信号转接模块包含基板、多个测试模块、及多个第一电连接器。基板具有顶面及底面。多个测试模块设置于顶面且位于晶圆测试区域。每个测试模块包含中心区域及环绕于中心区域的多个测试金属垫。多个第一电连接器位于信号转接区域、且电性耦接于多个测试模块。每个第一电连接器包含多个电性接点，多个电性接点设置于顶面，并且多个电性接点的至少部分电性接点通过多条信号扇出线路电性耦接于相对应的测试模块的多个测试金属垫。多个第一电连接器分别电性耦接于多个第二电连接器。借此，导电探针的植针作业时间可以被大幅缩减，并且探针卡测试装置的维护困难度可以被大幅降低。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 测试 装置 及其 信号 转接 模块 | ||
【主权项】：
暂无信息
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