[发明专利]显示面板缺陷高度检测方法在审
| 申请号： | 201910219437.7 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN109884811A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 张翼 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01B11/06;G01N21/95 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;张洋 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显示面板缺陷高度检测方法。该显示面板缺陷高度检测方法，将显示面板设于白光干涉系统的下方；该白光干涉系统获取所述显示面板的缺陷；该白光干涉系统利用白光干涉成像对显示面板中的缺陷进行高度检测；当白光干涉系统形成干涉条纹，则判定显示面板中的缺陷的高度大于或等于预设阈值，当白光干涉系统未形成干涉条纹，则判定显示面板中的缺陷的高度小于预设阈值，可以避免漏检漏修高度异常的缺陷，提高工艺制程良率。 | ||
| 搜索关键词： | 显示面板 白光干涉系统 高度检测 干涉条纹 预设 判定 白光干涉 良率 漏检 制程 成像 | ||
【主权项】：
1.一种显示面板缺陷高度检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、将显示面板(10)设于白光干涉系统(20)的下方；步骤S2、该白光干涉系统(20)获取所述显示面板(10)的缺陷(11)；步骤S3、该白光干涉系统(20)利用白光干涉成像对显示面板(10)中的缺陷(11)进行高度检测；当白光干涉系统(20)形成干涉条纹，则判定显示面板(10)中的缺陷(11)的高度大于或等于预设阈值，当白光干涉系统(20)未形成干涉条纹，则判定显示面板(10)中的缺陷(11)的高度小于预设阈值。
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