[发明专利]基于肖特基结的高灵敏度光强起伏探测器在审
申请号: | 201910236831.1 | 申请日: | 2019-03-27 |
公开(公告)号: | CN111750987A | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 吕惠宾;郭尔佳;何萌;金奎娟;杨国桢 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | G01J1/44 | 分类号: | G01J1/44;H01L31/108 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇;李科 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种光强起伏探测器,包括:由半导体衬底材料和透光的金属特性材料构成的肖特基结吸收体、设置在所述半导体衬底材料表面的电极、连接在所述电极和所述金属特性材料的表面之间的可调电源、以及连接在所述电极和所述金属特性材料的表面之间的测压部件,所述可调电源用于给所述肖特基结吸收体提供反向电流,所述测压部件用于监测所述肖特基结吸收体两端之间的电压。该光强起伏探测器专用于探测光强的起伏变化,结构简单、灵敏度高、成本低。 | ||
搜索关键词: | 基于 肖特基结 灵敏度 起伏 探测器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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