[发明专利]电子束聚焦装置有效
| 申请号： | 201910239970.X | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN110177421B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张力戈;黄江;樊明武;余调琴;李海军;丁宙;左晨;杨军;熊永前;齐伟;赵龙;曹磊;胡桐宁 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H05H7/04 | 分类号： | H05H7/04 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种电子束聚焦装置。所述电子束聚焦装置，包括：束流导轨，形成了供电子束通过束流通道；2n+1个磁极组，安装在所述束流导轨上，且分布在所述束流通道的不同位置，其中，第n个磁极组，用于对所述电子束进行第一方向的聚焦；第n+1个磁极组，用于对所述电子束进行第二方向的聚焦，所述第二方向垂直于所述第一方向；n为正整数。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 聚焦 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束聚焦装置，其特征在于，包括：束流导轨，形成了供电子束通过束流通道；2n+1个磁极组，安装在所述束流导轨上，且分布在所述束流通道的不同位置，其中，第n个磁极组，用于对所述电子束进行第一方向的聚焦；第n+1个磁极组，用于对所述电子束进行第二方向的聚焦，所述第二方向垂直于所述第一方向；n为正整数。
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