[发明专利]基板处理系统及求出气体流量的方法有效

专利信息
申请号: 201910242299.4 申请日: 2019-03-28
公开(公告)号: CN110323158B 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 实吉梨沙子;纲仓纪彦;三浦和幸;矢崎洋;庄司康博 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;G01F1/34
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 任玉敏
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一实施方式的基板处理系统具备基板处理装置及测定装置。基板处理装置具有气体供给部。气体供给部具有流量控制器及次级阀。次级阀连接于流量控制器的次级侧。若从基板处理系统的第1控制部经由配线输出电压,则次级阀打开。测定装置根据来自第1控制部的指示测定从流量控制器输出的气体的流量。测定装置具有第2控制部。测定装置具有设置于上述配线上的继电器。第2控制部构成为控制继电器。
搜索关键词: 处理 系统 求出 气体 流量 方法
【主权项】:
1.一种基板处理系统,其具备:基板处理装置;测定装置,构成为测定在所述基板处理装置中使用的气体的流量;第1控制部,构成为控制所述基板处理装置及测定装置;及配线,连接于所述第1控制部,所述基板处理装置具备:腔室;气体供给部,构成为向所述腔室的内部空间供给气体;及排气装置,经由排气流路连接于所述腔室的所述内部空间,该气体供给部具有:流量控制器;初级阀,连接于所述流量控制器的初级侧;次级阀,连接于所述流量控制器的次级侧;及第1气体流路,包括第1端部、第2端部及第3端部,该第1端部连接于所述次级阀,该第3端部经由开闭阀连接于所述腔室的所述内部空间,所述第1控制部构成为控制所述初级阀及所述次级阀各自的开闭,对所述流量控制器指定气体的流量,指示所述测定装置测定该气体的流量,所述测定装置具备:第2气体流路,包括第4端部及第5端部,该第4端部连接于所述气体供给部的所述第2端部;第3气体流路,具有第6端部及第7端部;第1阀,连接于所述第2气体流路的所述第5端部与所述第3气体流路的所述第6端部之间;第2阀,连接于所述第3气体流路的所述第7端部且设置为能够连接于所述排气装置;一个以上的压力传感器,构成为测定所述第3气体流路内的压力;温度传感器,构成为测定所述第3气体流路内的温度;及第2控制部,构成为,控制所述第1阀及所述第2阀各自的开闭,根据来自所述第1控制部的指示执行所述流量的测定,所述第1控制部构成为经由所述配线输出电压以打开所述次级阀,所述测定装置包括设置于所述配线上的继电器,所述第2控制部构成为控制该继电器。
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