[发明专利]物理量传感器及其制造方法、电子设备和移动体有效
| 申请号： | 201910242939.1 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN110319821B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 山口启一;西泽龙太 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘畅;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种物理量传感器及其制造方法、电子设备和移动体，其特征在于，该物理量传感器具有：支承部件；以及传感器元件，其被支承于所述支承部件，所述传感器元件具有：振动片；驱动信号布线，其配置在所述振动片上；以及第1检测信号端子和第2检测信号端子，它们配置在所述振动片上，所述支承部件具有：基板，其与所述传感器元件接合；以及第1检测信号布线和第2检测信号布线，它们配置在所述基板上，在从所述传感器元件与所述基板重叠的方向进行平面观察时，所述第1检测信号布线和所述第2检测信号布线分别具有沿着与所述第1轴交叉的第2轴延伸并且与所述驱动信号布线交叉的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 及其 制造 方法 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：基座；支承部件，其被支承于所述基座；以及传感器元件，其被支承于所述支承部件，所述传感器元件具有：振动片；驱动信号布线，其配置在所述振动片上，传输使所述振动片的驱动部进行振动的驱动信号，并且沿着第1轴延伸；以及第1检测信号端子和第2检测信号端子，它们配置在所述振动片上，伴随所述振动片的检测部的振动而输出检测信号，所述支承部件具有：基板，其与所述传感器元件接合；第1检测信号布线，其配置在所述基板上，传输来自所述第1检测信号端子的检测信号；以及第2检测信号布线，其配置在所述基板上，传输来自所述第2检测信号端子的检测信号，在从所述传感器元件与所述基板重叠的方向进行平面观察时，所述第1检测信号布线和所述第2检测信号布线分别具有沿着与所述第1轴交叉的第2轴延伸并且与所述驱动信号布线交叉的区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910242939.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
