[发明专利]一种用于半导体封装设备的自动上料装置及其工作方法有效
申请号: | 201910244001.3 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN109979831B | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 王全;沈春福;周体志;徐玉豹;薛战;吴海兵;郑文彬 | 申请(专利权)人: | 合肥富芯元半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/677 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于半导体封装设备的自动上料装置及其工作方法,可以解决现有的用于半导体封装设备在自动上料过程中需要人工对多种原材料进行手动分类整理,在整理完之后才能够投入自动上料装置上的特定位置进行自动上料,使用较为麻烦,不具备自动根据各种原材料的规格对其进行自动分类并上料功能的问题。包括支架以及位于其顶部的传送链,所述支架底部固定安装有四个支撑腿,且所述支架侧壁上连接有一排上料轨道,所述传送链上固定安装有若干个等间距分布的工位,且所述传送链一侧上方设置有进料轨道,所述进料轨道位于进料架上,所述传送链一端套接有从动齿轮,所述从动齿轮中部穿接有一根转轴,所述转轴底端连接在轴承座上。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 封装 设备 自动 装置 及其 工作 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于半导体封装设备的自动上料装置,包括支架(1)以及位于其顶部的传送链(4),所述支架(1)底部固定安装有四个支撑腿(2),且所述支架(1)侧壁上连接有一排上料轨道(3),其特征在于,所述传送链(4)上固定安装有若干个等间距分布的工位(11),且所述传送链(4)一侧上方设置有进料轨道(10),所述进料轨道(10)位于进料架(9)上,所述传送链(4)一端套接有从动齿轮(12),所述从动齿轮(12)中部穿接有一根转轴(13),所述转轴(13)底端连接在轴承座(14)上,所述传送链(4)另一端套接有主动齿轮(18),所述主动齿轮(18)中部连接驱动轴(17),所述驱动轴(17)一端接入换向齿轮箱(15)内部,所述换向齿轮箱(15)侧壁上安装有从动轴(16),所述驱动轴(17)导入换向齿轮箱(15)内部的一端连接有啮合齿轮(26),所述从动轴(16)导入换向齿轮箱(15)内部的一端同样连接有啮合齿轮(26),两个所述啮合齿轮(26)之间相啮合,所述从动轴(16)通过套接在其上的同步带(7)与位于从动轴(16)下方的主动轮(6)相连接,所述主动轮(6)与位于换向齿轮箱(15)正下方的驱动电机(5)的轴相连接,所述换向齿轮箱(15)一侧安装有固定在支架(1)侧壁上的PLC控制器(8),所述传送链(4)正上方安装有若干个位置与上料轨道(3)相对应的液压泵(19),所述液压泵(19)通过位于其底部的撑杆固定在支架(1)上且不与传送链(4)相接触,每个所述液压泵(19)侧壁上均通过液压伸缩杆连接有一块液压推板(20);每个所述上料轨道(3)顶端与支架(1)之间的连接处均安装有一块挡板(21),每个所述挡板(21)中部均设置有一个出口(25),所述出口(25)顶部安装有气泵(22),所述气泵(22)底部连接有一根气动伸缩杆(23),所述气动伸缩杆(23)底端连接有调节板(24)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造