[发明专利]一种测量系统及方法在审

专利信息
申请号: 201910245738.7 申请日: 2019-03-28
公开(公告)号: CN110057548A 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 曾庆坤;龚辉;谭立平;王平成;石露林;吕张勇;蒋峰 申请(专利权)人: 苏州创鑫激光科技有限公司;深圳市创鑫激光股份有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 莎日娜
地址: 215152 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明实施例提供了一种测量系统及测量方法,包括控制模块以及与控制模块相连的漏光检测模块;所述漏光检测模块用于对待测器件进行漏光检测,并将检测到的漏光数据发送到所述控制模块;所述控制模块用于控制所述漏光检测模块工作,并接收所述漏光检测模块发送的漏光数据。本发明实现自动化测试,测试的准确性高,测试效率快。
搜索关键词: 漏光 检测模块 控制模块 测量系统 自动化测试 测试效率 数据发 检测 测量 发送 测试
【主权项】:
1.一种测量系统,其特征在于,包括控制模块以及与所述控制模块相连的漏光检测模块;所述漏光检测模块,用于对待测器件进行漏光检测,并将检测到的漏光数据发送到所述控制模块;所述控制模块,用于控制所述漏光检测模块工作,并接收所述漏光检测模块发送的漏光数据。
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