[发明专利]芯片封装方法和芯片封装结构有效
申请号: | 201910250625.6 | 申请日: | 2019-03-29 |
公开(公告)号: | CN110034028B | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 席克瑞;秦锋;刘金娥;李小和;崔婷婷 | 申请(专利权)人: | 上海中航光电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L23/31;H01L25/16;H01L23/29 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 201100 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种芯片封装方法和芯片封装结构,所述芯片封装方法包括:在透明基板的第一侧涂布有机高分子材料层;在有机高分子材料层上沉积保护层;在保护层上设置多个对位部,多个对位部位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;贴附多个芯片;设置密封层;研磨密封层以暴露金属引脚;涂布第一绝缘层;形成多个金属部;使用激光照射透明基板的第二侧、以剥离透明基板。本发明提供的芯片封装方法中,能够减少整个芯片封装的制程、提高芯片封装的效率,提高芯片对位的精度,提升整个芯片封装的可靠性,提高芯片封装的良品率。 | ||
搜索关键词: | 芯片 封装 方法 结构 | ||
【主权项】:
1.一种芯片封装方法,其特征在于,包括:提供透明基板,所述透明基板包括相对设置的第一侧和第二侧;在所述透明基板的第一侧涂布有机高分子材料层;在所述有机高分子材料层上沉积保护层;在所述保护层上设置多个对位部,所述多个对位部位于所述保护层背离所述有机高分子材料层的一侧;贴附多个芯片,所述芯片包括多个金属引脚;设置密封层,所述密封层位于所述保护层背离所述有机高分子材料层的一侧;研磨所述密封层以暴露所述金属引脚;涂布第一绝缘层,在所述第一绝缘层上形成多个第一通孔;形成多个金属部,所述金属部沿所述第一通孔的孔壁延伸、并与所述金属引脚电连接,所述多个金属部之间相互绝缘;使用激光照射所述透明基板的所述第二侧、以剥离所述透明基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造