[发明专利]芯片封装方法和芯片封装结构有效

专利信息
申请号: 201910250625.6 申请日: 2019-03-29
公开(公告)号: CN110034028B 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 席克瑞;秦锋;刘金娥;李小和;崔婷婷 申请(专利权)人: 上海中航光电子有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56;H01L23/31;H01L25/16;H01L23/29
代理公司: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 代理人: 于淼
地址: 201100 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种芯片封装方法和芯片封装结构,所述芯片封装方法包括:在透明基板的第一侧涂布有机高分子材料层;在有机高分子材料层上沉积保护层;在保护层上设置多个对位部,多个对位部位于保护层背离有机高分子材料层的一侧;贴附多个芯片;设置密封层;研磨密封层以暴露金属引脚;涂布第一绝缘层;形成多个金属部;使用激光照射透明基板的第二侧、以剥离透明基板。本发明提供的芯片封装方法中,能够减少整个芯片封装的制程、提高芯片封装的效率,提高芯片对位的精度,提升整个芯片封装的可靠性,提高芯片封装的良品率。
搜索关键词: 芯片 封装 方法 结构
【主权项】:
1.一种芯片封装方法,其特征在于,包括:提供透明基板,所述透明基板包括相对设置的第一侧和第二侧;在所述透明基板的第一侧涂布有机高分子材料层;在所述有机高分子材料层上沉积保护层;在所述保护层上设置多个对位部,所述多个对位部位于所述保护层背离所述有机高分子材料层的一侧;贴附多个芯片,所述芯片包括多个金属引脚;设置密封层,所述密封层位于所述保护层背离所述有机高分子材料层的一侧;研磨所述密封层以暴露所述金属引脚;涂布第一绝缘层,在所述第一绝缘层上形成多个第一通孔;形成多个金属部,所述金属部沿所述第一通孔的孔壁延伸、并与所述金属引脚电连接,所述多个金属部之间相互绝缘;使用激光照射所述透明基板的所述第二侧、以剥离所述透明基板。
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